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18922517093離線分光干涉測厚儀的原理及運用
| 模型 | 飛行時間 |
|---|---|
| 測量方法 | 非接觸式/光譜干涉測量法 |
| 測量對象 | 電子和光學用透明平滑膜、多層膜 |
| 測量原理 | 光譜干涉儀 |
實現(xiàn)高測量重復性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）
不易受溫度變化的影響
可以生產用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式拓展應用。
反射型允許從薄膜的一側進行測量
僅可測量透明涂膜層（取決于測量條件）
| 測量厚度 | 1～50μm（薄材料）非常重要、10～150μm（厚材料） |
|---|---|
| 測量長度 | 50-5000 毫米 |
| 測量間距 | 1 毫米 ~ |
| 最小顯示值 | 0.001微米 |
| 電源電壓 | AC100 V 50/60 Hz |
| 工作溫度限制 | 5～45℃（測量時溫度變化1℃以內） |
| 濕度 | 35-80%（無冷凝） |
| 測量區(qū)域 | φ0.6 毫米 |
| 測量間隙 | 約 30 毫米 |
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