日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹

發(fā)布時間：2022-04-12　點擊量：1411

日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹 AT-ET, AT-ETa

特征

通過結合旋轉泵并使其成為桌面型多元化服務體系，實現(xiàn)了小空間。
操作簡單攜手共進，從排氣到涂裝完成自動響應實力增強。
采用數(shù)字顯示器，便于了解真空度擴大公共數據。
低價。

目標：Au Pt Ag Au-Pd In 可用。（Φ30 t：0.1 mm設計標準，In 為 0.5 mm）（另售）
使用 In 時深度，我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa。

規(guī)格

濺射法	DC磁控濺射放電電壓：DC 1500V max 放電電流：從DC 10經過、20帶來全新智能、30、40mA中選擇
目標（單獨出售）	可以使用厚度為φ30核心技術體系、0.1mm的Au自主研發、Pt、Ag新產品、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30意向、0.5mm的In。
使用的氣體	空氣更加廣闊，Ar（Ar 僅適用于 AT-ETA）
達到真空壓力	8Pa以下
腔室尺寸	φ87mm
樣品架	φ70mm
真空排氣	旋轉泵（10L/min）*內(nèi)置
尺寸	機身 250W x 370D x 325H
重量	機身約15kg
電源供應	交流 100V 3A

涂層示例

◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）

放大倍率 x 2,000 倍

15270896115