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日本ATA金屬等離子鍍膜機(jī)介紹 AT-ET, AT-ETa
特征
通過結(jié)合旋轉(zhuǎn)泵并使其成為桌面型充分發揮，實(shí)現(xiàn)了小空間。
操作簡(jiǎn)單成就，從排氣到涂裝完成自動(dòng)響應(yīng)重要方式。
采用數(shù)字顯示器，便于了解真空度系統。
低價(jià)模式。
目標(biāo)：Au Pt Ag Au-Pd In 可用。（Φ30 t：0.1 mm提升，In 為 0.5 mm）（另售）
使用 In 時(shí)，我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa不折不扣。
規(guī)格
| 濺射 法 | DC磁控濺射 放電電壓：DC 1500V max 放電電流：從DC 10支撐能力、20、30高效利用、40mA中選擇 |
| 目標(biāo)（單獨(dú)出售） | 可以使用厚度為φ30特征更加明顯、0.1mm的Au估算、Pt、Ag的可能性、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30不要畏懼、0.5mm的In。 |
| 使用的氣體 | 空氣問題，Ar（Ar 僅適用于 AT-ETA） |
| 達(dá)到真空壓力 | 8Pa以下 |
| 腔室尺寸 | φ87mm |
| 樣品架 | φ70mm |
| 真空排氣 | 旋轉(zhuǎn)泵（10L/min）*內(nèi)置 |
| 尺寸 | 機(jī)身 250W x 370D x 325H |
| 重量 | 機(jī)身約15kg |
| 電源供應(yīng) | 交流 100V 3A |
涂層示例
◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）
放大倍率 x 2,000 倍
