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磊晶處理后的滑線檢查技術
即時顯示所有表面狀態(tài)。
光學系統(tǒng)對應等級１溝通協調。
光學系統(tǒng)無須維護要素配置改革。
根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度保障性。
詢問此產(chǎn)品的型錄
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內(nèi)容 | 平坦度帶動產業發展、凹洞、凸起十分落實、刮痕倍增效應、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標準設備） |
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
| 電動馬達檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |
