日本紅外光的非接觸式厚度測量技術(shù)的特點(diǎn)

紅外線穿過特定的物質(zhì)強化意識。

它是一種利用該特性以非接觸方式測量特定物質(zhì)厚度的技術(shù)完成的事情。

由于電子設(shè)備中使用的硅、藍(lán)寶石帶動擴大、石英和其他化合物的表面經(jīng)過高精度拋光更加堅強，因此不能使用接觸式厚度測量，因?yàn)樗鼤?huì)劃傷表面性能。

此外，由于材料變形綜合運用，無法通過接觸式準(zhǔn)確測量橡膠供給、薄膜、軟樹脂等的厚度實事求是。

激光和電容是以非接觸方式測量厚度的常用方法進行探討，但它們是位移計(jì)，不能測量絕對值服務水平。絕對值可以通過我們的紅外光法測量最新。

紅外光測厚原理

當(dāng)紅外光投射到工件上時(shí)，它首先在表面上反射處理方法。
此外重要作用，紅外光通過工件內(nèi)部并在背面反射。
表面反射光和背面反射光被光學(xué)探頭接收習慣，利用前后表面反射光的時(shí)間差作為光干涉差來測量厚度充足。

可以在多層中進(jìn)行單獨(dú)的厚度測量

從這個(gè)原理來看，在如上圖所示的多層工件的情況下的積極性，可以從每個(gè)反射光的干涉差來測量單個(gè)厚度綠色化發展。

以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面。
從波形的左邊看不久前，它變成了R1到R4的干擾波用上了。每個(gè)干涉差（Peak to Peak）是每一層的厚度。

絕對值測量的優(yōu)點(diǎn)

《相對值的測量》

位移傳感器是一種相對值測量能力建設，將距離差作為厚度測量關註。因此研究進展，有必要準(zhǔn)備一個(gè)參考平面（零點(diǎn)）。
此外開展，如果到參考平面的距離 (Gs) 并不總是恒定的互動互補，則會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤。如果不能保持或隨時(shí)間變化提單產，則必須為每次測量重新設(shè)置零點(diǎn)深入實施。

<< 絕對值測量 >>

由于紅外光的測量是通過從正面和背面反射光的干涉差異獲得的，因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量厚度的絕對值發展空間。
即使到工件的距離（Ga）有輕微波動(dòng)效果，如果范圍小于最大測量厚度（約4毫米）-工件厚度（t），測量值和精度也不會(huì)受到影響足了準備。

華僑城納米

☆ 如果是允許紅外光通過的物質(zhì)合作關系，可以在不使材料變形的情況下測量厚度。

☆ 可測量厚度絕對值

☆ 可進(jìn)行多層測量

☆ 測量距離可任意設(shè)置深刻內涵，最大可達(dá)1000mm左右傳遞，可保持0.1μm的測量精度。