optiworks 4D動態(tài)干涉測量法技術分析

傳統(tǒng)的移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面，獲取干涉條紋的圖像就能壓製，并計算相位分布更合理。單次測量至少需要100毫秒，在此期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動，導致干涉條紋發(fā)生波動各方面，導致測量誤差增加防控。為了防止這種情況，需要光學面板適應性、防振裝置堅實基礎、擋風玻璃等。

4D Technology的動態(tài)干涉儀是一種劃時代的系統(tǒng)重要作用，以其“動態(tài)干涉測量"解決了此類問題等地。

在“動態(tài)干涉"中，無需機械移動參考平面尤為突出，一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖規定。由于對相機的每個像素進行相移，因此可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù)改造層面，并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量優勢與挑戰。

這使得可以在振動不可避免的環(huán)境中進行測量經驗分享，測量遠處的樣品和移動物體，以及測量在室內進行環(huán)境試驗的樣品趨勢。

“4Sight™"數(shù)據(jù)分析軟件

用于高級干涉儀的高級軟件有力扭轉。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界先進的干涉測量軟件。

數(shù)據(jù)采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實時圖像的同時進行調整
?多種數(shù)據(jù)采集模式一站式服務，如單次廣度和深度、平均、連續(xù)引領作用、差分和突發(fā)（電影）

數(shù)據(jù)分析
?斜率科技實力、直方圖
?衍射分析（PSF、MTF建設、自協(xié)方差）
?幾何光學分析（點擴散強度分布在此基礎上、圓形或方形孔徑能量分布）
?澤尼克分析
?各種掩模函數(shù)和其他自定義分析函數(shù)可以添加。