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yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體制造設(shè)備 | 光刻膠、顯影劑廣度和深度、沖洗液深入交流、蝕刻劑、去除劑加強宣傳、清洗液臺上與臺下、抗蝕劑去除劑 |
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產(chǎn)品概覽
有效去除半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的化學(xué)品和溶劑中的氣泡和溶解氣體。
去除光刻膠、顯影劑集聚效應、沖洗液集成、蝕刻劑、去除劑互動講、清洗液穩定性、抗蝕劑剝離液等化學(xué)溶液中的氣泡和溶解氣體。
通過(guò)去除它過程中，可以預(yù)期產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和成品率提高等效果去突破。
有效去除氣泡和溶解氣體，這對(duì)于控制化學(xué)品和溶劑的濃度和體積是*達到，可以實(shí)現(xiàn)精確的化學(xué)品控制智能設備。
它環(huán)保且成本低。
?消除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的問(wèn)題氣泡線上線下，穩(wěn)定質(zhì)量發揮重要作用，提高成品率，防止故障數據顯示。
? 有效去除阻礙化學(xué)品和溶劑濃度和體積控制的氣泡和溶解氣體。
低價(jià)格——氟脫氣模塊（化學(xué)品/溶劑用）是高性能低價(jià)格的脫氣模塊也逐步提升。
與傳統(tǒng)氟基（PTFE）脫氣模塊相比記得牢，產(chǎn)品性能提升，價(jià)格降低40%重要的作用。
該產(chǎn)品價(jià)格低廉更多可能性，非常適合正在考慮脫氣設(shè)備的客戶。
產(chǎn)品特點(diǎn)
與傳統(tǒng)的PTFE（氟基）脫氣模塊相比足夠的實力，產(chǎn)品性能得到提升緊迫性，價(jià)格大幅降低。
PTFE（氟系）等助劑無(wú)溶出更適合，不易附著污垢的PFA全部用于接液部高效，適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
您可以放心使用要素配置改革。
脫氣效率高體系，對(duì)流量的依賴性小，因此即使增加流量帶動產業發展，脫氣能力也不會(huì)明顯下降責任製。
氟樹(shù)脂膜概要
耐化學(xué)性：耐大多數(shù)化學(xué)品和溶劑，氟基化學(xué)品和溶劑除外倍增效應。
耐沾污：污漬不易附著規則製定，即使附著也可輕松去除。
非洗脫：不洗脫金屬離子等雜質(zhì)。通常關規定，氟基樹(shù)脂膜（PTFE）在加工過(guò)程中會(huì)添加助劑新格局。
產(chǎn)品有助劑浸出，但含氟脫氣模塊不使用助劑安全鏈，干凈顯示。
產(chǎn)品陣容
我 莫 通過(guò)并聯(lián) MF1000-2全過程，可以處理 1000ml/min 以上的流量。
最大流量 通大氣飽和水溶解氧去除率80%以上時(shí)探討，最大流量50%以上不負眾望，水溫25℃，真空度12kPa（約90torr）
內(nèi)部能力 內(nèi)部體積包括脫氣模塊內(nèi)的氣體分離膜調解製度、管道和接頭
薩 胃 Z 外形尺寸（不包括突出部分）
評(píng)價(jià)
使用該脫氣模塊時(shí)精準調控，需要滿足以下條件之一。
?真空泵或真空管線
?帶真空控制功能的真空泵
