用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

發(fā)布時(shí)間：2023-04-10　點(diǎn)擊量：1095

用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

基于準(zhǔn)分子光源特點(diǎn)解決，我們來看看準(zhǔn)分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準(zhǔn)分子波長172 nm為例動力，紫外線照射固體表面后不斷豐富，表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化多種方式，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)同時，最終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高臺上與臺下。

1幅度、打破分子鍵

打破有機(jī)物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時(shí)物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大便利性，就越容易引發(fā)反應(yīng)（分解）并且所需的處理時(shí)間越短開展研究。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長進(jìn)行分解。

2信息化、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子

準(zhǔn)分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較力量，光強(qiáng)超大，靶向精準(zhǔn)，無汞制造方式之一，綠色環(huán)保，可回收緊迫性，無二次污染質生產力。與低壓紫外燈的185nm波長相比，準(zhǔn)分子燈172nm波長的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右非常激烈。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧提升行動，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強(qiáng)大氧化能力的強(qiáng)激發(fā)氧技術交流。

Eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器

易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口交流。
通過使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能關註。可以瞬時(shí)打開和關(guān)閉溝通協調。

特征

真空室等靜電問題的對策
卷對卷薄膜抗靜電
晶圓等靜電卡盤的吸附和運(yùn)輸措施
防止因電氣化而吸附異物的對策
電子顯微鏡的靜電對策
通過帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔

規(guī)范

波長	172 納米
真空法蘭端口	ICF114 （兼容JIS法蘭）
冷卻方式	風(fēng)冷
功能	燈亮起提供堅實支撐、熄滅
光源尺寸	寬 300 x 高 157 x 深 180 mm
電源尺寸	寬 250 x 高 133 x 深 200 mm
權(quán)力	AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子
氣	N2
電纜長度（燈~電源）	0活動，5 米
環(huán)境規(guī)格	溫度15-30°C，濕度20-80%，無冷凝還不大、腐蝕好宣講、振動(dòng)的環(huán)境條件。

上一篇：毛細(xì)管上升式表面張力計(jì)DG-1的工作原理分析

下一篇：marui group電磁感應(yīng)法鋼筋探頭“鐵測量”的特點(diǎn)