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n-seisen半導(dǎo)體氣體過濾器介紹
NASclean®是由微米級不銹鋼短纖維(SUS316L)燒結(jié)而成的薄層金屬膜過濾器。 通過從過濾介質(zhì)(不銹鋼短纖維)到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)調整推進,我們?yōu)榘雽?dǎo)體狀況、平板顯示器、太陽能電池板等生產(chǎn)過程中使用的氣體的過濾做出貢獻(xiàn)建強保護。
這是世界上使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器同期。
低壓降和高顆粒性能生產效率。
適用于100 SLM或更低的流量使命責任,可用于各種工藝氣體效果。
過濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流速下也能實現(xiàn)低壓降。
高溫烘烤是可能的合規意識,因為它是全金屬的密度增加。
3000牛米3支持高達(dá) /hr 的高流速。
用于保護(hù) MFC體製、閥門構建、調(diào)節(jié)器和其他設(shè)備的過濾器。
根據(jù)使用條件服務延伸,可以選擇低壓型和高壓型共創輝煌。
可與現(xiàn)有管道一起安裝。
集成氣體面板過濾器進一步,兼容 1.125W 密封大部分、1.125C 密封和 1.5W 密封。
通過采用褶皺介質(zhì)實現(xiàn)緊湊的尺寸實際需求。
機(jī)械密封用于在介質(zhì)部分創(chuàng)建無焊接結(jié)構(gòu)解決方案。
褶皺介質(zhì)可實現(xiàn)高速排氣。
防止顆粒纏繞善謀新篇,有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量增產。
可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計。
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