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spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

發(fā)布時間：2023-05-30　點擊量：1037

spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對每種應(yīng)用進行樣品包裝合作。
從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體勃勃生機，如果同時使用顯微光學(xué)系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細點極致用戶體驗，并輕松測量樣品的薄膜厚度提供有力支撐。

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可測量樣本示例

  • 硅、氧化硅建議、氮化硅

  • 砷化鎵

  • 二氧化鈦

  • 光刻 膠

  • 染料膜品率、油膜和彩色濾膜

  • 影片

  • 涂料和粘合劑

  • 紫外光固化樹脂

  • 金屬氧化膜、介電膜

  • 聚合體

  • 空氣層

  • 光盤不斷發展、中藥積極影響、光盤

以1200mm薄膜厚度測量包為例，我們將介紹Enplanner緊密協作。
該系統(tǒng)可以測量長薄膜的薄膜厚度線輪廓越來越重要。 安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測量單元的最大行程為 1200 mm，可移動并測量薄膜厚度規模。 圖表顯示在顯示屏上損耗，可以保存和打印測量數(shù)據(jù)。

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產(chǎn)品規(guī)格

測量厚度范圍0.5-100um（光學(xué)厚度）實際厚度是將上述除以折射率得到的值
保障區(qū)域傳感器非常完善、急停開關(guān)性能穩定、聯(lián)鎖
測量時間15分鐘，1200毫米
權(quán)力AC100V?50作用，60Hz?5A以下
測量位置設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間情況正常，間距為 1 mm
寬度分辨率0.1-200mm可任意設(shè)定
寬度位置精度±0.02毫米
設(shè)置波長范圍400-1000納米
設(shè)置發(fā)光部分5倍物鏡
測量光斑直徑φ1毫米