lintec液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點(diǎn)

液體質(zhì)量流量控制器原理

液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動控制儀器支撐作用，液體質(zhì)量流量計(jì)是測量液體質(zhì)量流量的儀器。

質(zhì)量流量控制器利用熱容量和流量控制閥的PID控制建設項目，通過質(zhì)量流量測量原理調(diào)節(jié)開度最為突出，自動控制質(zhì)量流量。

液體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn) 【林泰克】

LINTEC的液體質(zhì)量流量（質(zhì)量流量控制）是液體質(zhì)量流量控制的先驅(qū)相結合，它是為響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)對TEOS等液體汽化供應(yīng)技術(shù)的需求而在開發(fā)的發展目標奮鬥。

液體質(zhì)量流量控制

液體的流量測量包括體積流量和流速測量，從精度和穩(wěn)定性的角度來看更多的合作機會，具有微小流量的液體質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量控制）已成為半導(dǎo)體成膜過程中不可缺的技術(shù)。

高精度

在半導(dǎo)體制造過程中認為，在價格和處理能力上優(yōu)于氣體的TEOS等液體源被蒸發(fā)并沉積薄膜服務好。 在制造工藝方面，供應(yīng)量很大反應能力，許多最新的原材料都是低蒸氣壓的材料共謀發展。 在傳統(tǒng)的燃?xì)釳FC焙燒方法中，供應(yīng)量和耐熱溫度是瓶頸結構重塑，因此需要溫度約束少且供應(yīng)量大的直接汽化方法聽得懂。 但是應用優勢，在直接汽化方法中，反應(yīng)氣體的流速控制在液相中全方位，因此小誤差會極大地影響反應(yīng)高效節能。

以H 2 O為例，當(dāng)1ml液相在理想狀態(tài)下汽化時先進技術，膨脹到1培訓，244ml。 它已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備不可缺的技術(shù)宣講手段，當(dāng)需要對微小流量進(jìn)行高精度流量控制時重要工具，它控制液體流速并汽化和反應(yīng)。

穩(wěn)定性

1 ml/min 或更低的流量控制裝置包括計(jì)量泵配套設備，但計(jì)量泵連續(xù)執(zhí)行機(jī)械開關(guān)操作更優質，這會導(dǎo)致脈動。 沒有機(jī)械開關(guān)的注射泵不會脈動推進高水平，但泵的體積有限脫穎而出，因此不適合連續(xù)進(jìn)料。

此外資料，當(dāng)將液體引入具有受控流量的真空裝置時廣泛應用，由于計(jì)量泵的壓差，流量無法穩(wěn)定橫向協同。

液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將加壓到恒定壓力的液體如氣體引入液體質(zhì)量流量控制器中哪些領域，用內(nèi)部流量傳感器檢測瞬時流量，并不斷控制閥門開度不斷創新，使流量無論二次側(cè)減壓還是大氣壓都能控制在恒定水平建立和完善。

液體質(zhì)量流量相關(guān)產(chǎn)品

液體質(zhì)量流量計(jì)

高性能液體質(zhì)量流量計(jì)

特點(diǎn)：微流液體測量，PID控制信號（帶汽化器和CV設(shè)置）參與水平，金屬密封大型，清潔

可選：高溫

液體質(zhì)量流量控制器

高性能液體質(zhì)量流量控制器

特點(diǎn)：微流液體控制，金屬密封明確相關要求，清潔

科里奧利液體質(zhì)量流量控制器

長處：無需 C.F.重要意義，高流量液體控制，清潔

質(zhì)量流量控制器技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)品

液體控制閥 [CV-1000]

特點(diǎn)：比例電磁閥深化涉外，金屬密封體系，清潔