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Nanotech簡易型膜厚測試儀Autocrater工作原理分析

發(fā)布時間:2023-11-15 點擊量:1527

Nanotech簡易型膜厚測試儀Autocrater工作原理分析


測量原理及規(guī)格
首先,滴下金剛石漿料規則製定,并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面製造業。接下來,觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并
測量上圖中 X 和 Y 之間的距離堅定不移。
 


根據(jù)測量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑組合運用,根據(jù)上式計算膜厚度。

●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速:100~3,000rpm
◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時間:1秒~60分鐘
◆最大樣品尺寸:φ40mm

*可選配亞克力蓋迎難而上。

Autocrater可以通過用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測量拋光痕跡的長度來測量薄膜厚度積極。

■無需樣品制備

無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測量沉積的樣品集聚。

■可評估多層膜


各層的膜厚可以通過化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來評價競爭力。

■應(yīng)用實例

TiN、CrN狀況、TiAlN機製性梗阻、TiCN 等、DLC全過程、電鍍集成應用、這些的多層膜


本試驗機根據(jù)磨痕長度測量結(jié)果,采用ISO20423《弧坑磨削法測定涂層厚度》中規(guī)定的計算方法計算涂層厚度不負眾望。此外高效流通,為了用該測試儀測量薄膜厚度,您將需要一個單獨的顯微鏡來測量拋光痕跡的長度精準調控。

消耗品

金剛石漿料和球

日本球SUJ2材質(zhì)φ20mm
日本球SUJ2材質(zhì)φ30mm
金剛石漿料粒徑1.0μm(100cc)