適用于 6 英寸晶圓和掩模的長(zhǎng)壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源介紹

風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元體系，燈長(zhǎng)160mm，該單元專(zhuān)為VUV 172波長(zhǎng)的照射而設(shè)計(jì)服務延伸，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單共創輝煌，具有低成本、高性能的特點(diǎn)進一步，準(zhǔn)分子UV燈可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理大部分。

緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈實際需求。其特點(diǎn)是簡(jiǎn)單緊湊解決方案、高可靠性風(fēng)冷型、無(wú)需更換燈管的長(zhǎng)壽命準(zhǔn)分子燈善謀新篇。*1電源為AC100V增產。

特點(diǎn) 

長(zhǎng)壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無(wú)需更換燈管

　　　　本來(lái)還不大，準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒(méi)有電極高產，因此理論上它們被認(rèn)為是長(zhǎng)壽命燈，在國(guó)外有時(shí)被稱(chēng)為準(zhǔn)分子燈發揮作用。然而良好，如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形銘記囑托，往往會(huì)導(dǎo)致燈管壽命較短引領，從而導(dǎo)致成本較高。

根據(jù)多年的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)示範，Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極應用前景、高壓電纜和高壓部件有很大提升空間，但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身首次，實(shí)現(xiàn)低成本和高可靠性可能性更大。*1

特征

• 風(fēng)冷方式，安裝方便方案。

• 燈管燈長(zhǎng)160mm

• 電源 AC100V 50/60Hz

• 瞬時(shí)開(kāi)/關(guān)燈功能關鍵技術。

• 適合研究和開(kāi)發(fā)。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 表面潤(rùn)濕性和改性

• 光化學(xué)

• 反應(yīng)性O(shè)H自由基過(guò)程

• 抗蝕劑去除

• UV O3工藝

規(guī)格

*由于采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計(jì)，連續(xù)點(diǎn)亮?xí)r間在10分鐘以內(nèi)重要的。