agc濺射靶材的特點及運用示例分析

發(fā)布時間：2023-12-11　點擊量：1224

agc濺射靶材的特點及運用示例分析

1. 光學薄膜用靶材

材料	產(chǎn)品名稱	目標形狀		目標		薄膜（氧化膜用）
材料	產(chǎn)品名稱	平板	圓柱	直流濺射	特征	耐堿性	耐酸性	耐刮擦	其他的
硅基	SC	○		○	高速成膜（>結晶Si）用上了、高強度提升行動、高導熱率	○	○	○	n=1.46 無定形
硅基	熱噴涂硅	○	○	○	穩(wěn)定放電	○	○	○	n=1.46 無定形
鈮基	N.B.O.	○	○ 熱噴涂	○	高密度、高速成膜（＞Nb）	○	○	○	n= 2.3 無定形
鈦基	TXO	○	○ 熱噴涂	○	高速成膜（>Ti）	○	○	○	n=2.45 無定形

此處列出的質量數(shù)據(jù)僅供參考關註，并非保證值研究進展。關于下單時的質量保證，我們將另行協(xié)商決定連日來。請注意快速融入，列出的質量數(shù)據(jù)如有更改，恕不另行通知系統。

材料	產(chǎn)品名稱	目標形狀		目標		薄膜（氧化膜用）
材料	產(chǎn)品名稱	平板	圓柱	直流濺射	特征	耐堿性	耐酸性	耐刮擦	其他的
硅基	SX	○		○	高密度優勢與挑戰、低飛弧特性	◎	◎	◎	n= 1.7 無定形
硅基	英石	○	△ 開發(fā)中	○	高密度經驗分享、高速成膜（>SX）	○	◎	◎	n=1.7～ 2.0非晶態(tài)

此處列出的質量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值趨勢。關于下單時的質量保證有力扭轉，我們將另行協(xié)商決定。請注意一站式服務，列出的質量數(shù)據(jù)如有更改廣度和深度，恕不另行通知。

材質系統(tǒng)	產(chǎn)品名稱	目標形狀		目標		膜質量
材質系統(tǒng)	產(chǎn)品名稱	平板	圓柱	DC成膜	特征	膜質量
鋅基	深圳	○	○	○	合金靶材 Ar膜沉積	n=2.0 無定形
鋅基	AZ	○	△ 開發(fā)中	○	合金靶材 Ar膜沉積	n=2.0 無定形

此處列出的質量數(shù)據(jù)僅供參考不斷發展，并非保證值。關于下單時的質量保證自動化方案，我們將另行協(xié)商決定緊密協作。請注意，列出的質量數(shù)據(jù)如有更改線上線下，恕不另行通知發揮重要作用。

使用我們的制造方法，圓柱形 SZ 靶材與背襯管實現(xiàn)了高粘合強度數據顯示。因此高質量，與傳統(tǒng)的熱噴涂靶相比，可以使用高功率濺射進行高速成膜記得牢。
可制造總長3m以上的長圓柱形靶材註入了新的力量。

材質系統(tǒng)	產(chǎn)品名稱	目標形狀		目標		膜質量
材質系統(tǒng)	產(chǎn)品名稱	平板	圓柱	DC成膜	特征	電導率	耐化學性	其他特性
鋅基	廣州市	○		○	高密度燒結體 Ar成膜	○	×	n=1.9 低溫結晶膜
鋅基	偶氮	○	△ 開發(fā)中	○	高密度燒結體 Ar成膜	○	×	n=1.9 低溫結晶膜

此處列出的質量數(shù)據(jù)僅供參考，并非保證值。關于下單時的質量保證結構，我們將另行協(xié)商決定更適合。請注意，列出的質量數(shù)據(jù)如有更改規劃，恕不另行通知擴大公共數據。

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