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簡易型微量金屬污染物采樣設備(SC系列)
SC-3100
●通過與計算機聯(lián)機,可選擇豐富多樣的采樣模式不同需求,對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作發展。
●因為不太需要外部資源,也不太占地方創造更多,易于導入宣講活動。
●采樣操作由設備自動完成,無需熟練工就可輕松完成采樣操作工藝技術。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作效率,與SC-2000相比,可以減少由操作員引起的污染近年來。
SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能講道理、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作技術先進。
●對于晶圓表面狀態(tài)更多的合作機會、采樣液種類的要求不苛刻,另外認為,還可以對非重金屬離子進行采樣服務好。
●當然,也可以進行傳統(tǒng)的憎水采樣操作反應能力。
SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能共謀發展、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作結構重塑。
●對于晶圓表面狀態(tài)聽得懂,以及采樣液種類的采樣限制,本設備有所突破高質量發展,另外要落實好,也可以對非重金屬離子進行采樣緊密相關。
●當然,也可以進行常規(guī)的憎水采樣操作先進技術。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作培訓,與SC-8100相比,可以減少由操作員引起的污染深入。
設備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
操作控制 | 電腦(※3) | |||||||||
支架具的裝/卸 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
采樣液的供給 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
采樣液的回收 | 自動(※1) | 手動 | 自動 | |||||||
采樣基本模式 | 圓環(huán)形效高、扇形、固定半徑基礎、圓弧 | |||||||||
采樣追加模式(※1) | 端面性能、弧形、長方形 | |||||||||
晶圓排片(※2) | 對圓環(huán)形對外開放、固定半徑技術創新、端面采樣模式有追加項 | |||||||||
吸取式采樣 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
親水面采樣 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
安裝環(huán)境 | 無塵通風柜內(nèi) | |||||||||
所需外部資源 | 電源(100~240VAC)、 純凈水資料、干潔氣源 | 電源(100~240VAC)廣泛應用、 N2、干潔氣源 | 電源(100~240VAC)橫向協同、 純凈水哪些領域、N2、干潔氣源 |
※1不斷創新,2: 追加項目需要另外計費建立和完善,另外,對于親水狀態(tài)的晶圓參與水平,不能進行端面采樣大型,謹請諒解。
※3:配置電腦需要另外計費明確相關要求。