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可測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì)SC-10的特點(diǎn)
?通過監(jiān)測(cè)殘留氣體成分，可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況倍增效應。
?用一臺(tái)裝置即可測(cè)量真空度（總壓）和氣體成分（分壓）規則製定。
SC-10智能真空計(jì)是我公司研發(fā)的一款全新的自動(dòng)真空計(jì)，既可以測(cè)量殘余氣體成分優化服務策略，也可以測(cè)量全壓真空關規定。
總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當(dāng)總壓達(dá)到約50Pa時(shí)兩個角度入手，氣體成分的分壓自動(dòng)開始建強保護，從而可以測(cè)量約10-5Pa到10-6Pa。 生產效率。
可以在粗略壓力范圍內(nèi)測(cè)量氣體成分并檢查是否有泄漏使命責任，而這對(duì)于傳統(tǒng)氣體分析儀來(lái)說是不可能的。
智能真空計(jì)可以測(cè)量殘留氣體的成分使用，因此即使在抽氣過程中合規意識，您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣脫氣有效性。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)創新內容，在圖1中，顯示了正常排氣廣泛關註，水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空我有所應，而在圖2中，氮?dú)庥捎谛孤┒Ｖ股钊雽嵤?。向下排氣開始后約5分鐘至關重要，如果繼續(xù)排氣約10分鐘，則氮?dú)獾牧孔兊枚嘤谒魵猓⑶铱倝汉驼婵斩鹊慕档屯Ｖ箲玫囊蛩刂?。通過使用智能真空計(jì)解決，您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過監(jiān)測(cè)總壓力和真空度無(wú)法檢測(cè)到的排氣異常及其原因。
圖1
圖2
智能真空計(jì)不僅可以讓您知道是否存在泄漏敢於監督，還可以噴射氦氣或氬氣來(lái)定位泄漏位置幅度。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時(shí)智能真空計(jì)的數(shù)據(jù)，氬氣增加而氮?dú)鉁p少表明存在泄漏重要的作用。泄漏停止后貢獻，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少穩中求進，水蒸氣成為主要成分統籌，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
圖3
圖4
