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用于硅晶片表面氧化時的加熱和檢查用鹵素燈介紹

發(fā)布時間:2024-12-02 點擊量:997

用于硅晶片表面氧化時的加熱和檢查用鹵素燈介紹

在半導體制造過程中用作鹵素燈泡最深厚的底氣,用于硅晶片表面氧化時的加熱和檢查。

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★  鹵素燈因其溫度高振奮起來、紅外輻射集中品質,是半導體行業(yè)硅片外延生長過程的理想熱源。這些燈提供明亮深入各系統、均勻的光線解決問題,并且使用壽命長,減少了維護工作量和成本作用。

我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源相互配合。


★ 它也可以很好地用作聚光燈,通過使用鹵素燈泡方案,您可以創(chuàng)造出適合您需求的照明環(huán)境關鍵技術。對于那些尋求專業(yè)照明解決方案的人來說,我們的鹵素燈的選擇組建。

我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源表現。


★ 我們提供適合各種應用的一系列產(chǎn)品,因此您可以選擇適合您特定要求的燈深刻變革。我們提供多種選擇來滿足任何照明需求結論。

場所提供您對聚光燈的要求,我們可以使用鹵素燈泡營造的氛圍質生產力。


★ 如果您有興趣適應性強,請隨時與我們聯(lián)系,我們將提供更詳細的信息和目錄先進的解決方案。

適合專業(yè)應用的燈拓展,請隨時聯(lián)系。


應用:

設備應用:

  • ●CVD化學氣相沉積



  • ●多晶硅沉積


  • ●外延/外延加工


  • ●RTP快速熱處理


  • ●氧化



  • ●離子注入退火



設備名稱  設備

型號 P/N

燈 燈說明
1010-01116
JCD120-800W
1010-01088JCV120V-1000WB

0190-22509A6
0190-42680A8
0190-39351E9
0190-3634982V 500W 黑色
0190-38516 82V 540W 藍色
0190-38517 95V 645W 紅色
0190-2680595V 645W 綠色