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用于硅晶片表面氧化時的加熱和檢查用鹵素燈介紹
在半導體制造過程中用作鹵素燈泡最深厚的底氣,用于硅晶片表面氧化時的加熱和檢查。
★ 鹵素燈因其溫度高振奮起來、紅外輻射集中品質,是半導體行業(yè)硅片外延生長過程的理想熱源。這些燈提供明亮深入各系統、均勻的光線解決問題,并且使用壽命長,減少了維護工作量和成本作用。
我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源相互配合。
★ 它也可以很好地用作聚光燈,通過使用鹵素燈泡方案,您可以創(chuàng)造出適合您需求的照明環(huán)境關鍵技術。對于那些尋求專業(yè)照明解決方案的人來說,我們的鹵素燈的選擇組建。
我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源表現。
★ 我們提供適合各種應用的一系列產(chǎn)品,因此您可以選擇適合您特定要求的燈深刻變革。我們提供多種選擇來滿足任何照明需求結論。
場所提供您對聚光燈的要求,我們可以使用鹵素燈泡營造的氛圍質生產力。
★ 如果您有興趣適應性強,請隨時與我們聯(lián)系,我們將提供更詳細的信息和目錄先進的解決方案。
適合專業(yè)應用的燈拓展,請隨時聯(lián)系。
應用:
設備應用:
●CVD化學氣相沉積
●多晶硅沉積
●外延/外延加工
●RTP快速熱處理
●氧化
●離子注入退火
設備名稱 設備 | 型號 P/N | 燈 燈說明 |
在 | 1010-01116 | JCD120-800W |
在 | 1010-01088 | JCV120V-1000WB |
在 | 0190-22509 | A6 |
在 | 0190-42680 | A8 |
在 | 0190-39351 | E9 |
在 | 0190-36349 | 82V 500W 黑色 |
在 | 0190-38516 | 82V 540W 藍色 |
在 | 0190-38517 | 95V 645W 紅色 |
在 | 0190-26805 | 95V 645W 綠色 |