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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

產品型號:

所屬分類:位移計

產品時間:2025-08-03

簡要描述:日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型"堅實基礎,探頭中沒有內置電路提升。因此去突破,穩(wěn)定性大大提高大型。此外部署安排,由于沒有電路部件的特性,因此緊湊且具有用于結合的z佳結構長效機製。
它是納米位移測量講實踐,精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制,平面度和厚度測量的理想選擇奮戰不懈。

詳細說明:

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型”市場開拓,探頭中沒有內置電路。因此大大縮短,穩(wěn)定性大大提高要落實好。此外緊密相關,由于沒有電路部件,因此緊湊且具有用于結合的z佳結構先進技術。
它是納米位移測量培訓,精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制,平面度和厚度測量的理想選擇宣講手段。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃重要工具。
您可以看到已經(jīng)進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

[圖] ST-3541 + ST-0403-100穩(wěn)定性數(shù)據(jù)

實現(xiàn)高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅動的壓電元件的位移配套設備。
即使只有1 nm的小步進信號性能,也可以很好地檢查響應。

  • 1nm步進
    波形:頻率0.15Hz步進寬度1nm對外開放。
    頻段設定:100Hz

優(yōu)異的線性度0.05%

通過使用不需要線性化器的測量方法技術創新,可以實現(xiàn)出色的線性度。


  • 較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內置電路資料,因此尺寸已大大減小廣泛應用。
    這大大擴展了結合到測量系統(tǒng)中的自由度。
  • 使用的連接電纜橫向協同,可以
    在通道之間進行同步操作哪些領域。即使使用多臺設備,也可以通過連接通道進行同步操作不斷創新。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結果建立和完善。
  • 您可以減少系統(tǒng)構建的成本。
    當使用多個通道時規模,只有通過按需供電才可以擴展穩定發展,因此可以降低系統(tǒng)構建成本。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭聯動,可以測量真空中的位移增持能力。

[圖]自定義真空探針

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應用領域

  • 精密定位,位置檢測行業內卷,半導體的姿態(tài)控制追求卓越,精密處理,顯微鏡等
  • 壓電元件的振動和振幅測量等
  • 硅片參與能力,金屬板合理需求,精密加工零件等的平面度和厚度測量
  • 測量軸跳動,表面跳動和精密電機的圓度等
  • 納米位移測量


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