用于硬涂層膜厚檢測(cè)設(shè)備-反射光譜膜厚計(jì)AFW-100W

[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí)，它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜姿勢。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾充分發揮。當(dāng)光的相位匹配時(shí)，強(qiáng)度增加重要平臺，而當(dāng)光相移時(shí)相互融合，強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過分析該光譜來測(cè)量薄膜厚度的方法生動。

[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同提單產，無需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比適應性強，便宜且易于使用的特性。

將來也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。