用于硬涂層膜厚檢測(cè)設(shè)備-反射光譜膜厚計(jì)AFW-100W

[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí)進入當下，它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜建強保護。薄膜表面反射的光與穿過(guò)薄膜并在基板表面反射的光相互干擾服務好。當(dāng)光的相位匹配時(shí)，強(qiáng)度增加流動性，而當(dāng)光相移時(shí)效高化，強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過(guò)分析該光譜來(lái)測(cè)量薄膜厚度的方法反應能力。

[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同部署安排，無(wú)需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比投入力度，便宜且易于使用效果。

將來(lái)也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。