SEM坂本數(shù)字水平儀SELN-001B作為行業(yè)內(nèi)的測(cè)量與校準(zhǔn)利器，正以其性能和無(wú)比優(yōu)勢(shì)國際要求，為半導(dǎo)體制造和機(jī)床檢測(cè)企業(yè)帶來(lái)未有的革新紮實。

一、精準(zhǔn)測(cè)量，奠定工藝基石

1. 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的精密應(yīng)用

光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備自動化方案，對(duì)工作臺(tái)和光路系統(tǒng)的水平精度要求近乎苛刻行動力。SELN-001B憑借其高達(dá)±0.001deg的角度精度，能精確校準(zhǔn)光刻機(jī)工作臺(tái)空間廣闊，確保晶圓與光刻鏡頭的距離分毫不差落到實處，從而保障光刻圖案精度。

在刻蝕工藝中，反應(yīng)腔室與晶圓承載臺(tái)的水平度直接關(guān)乎刻蝕效果營造一處。SELN-001B可快速探測(cè)反應(yīng)腔室的傾斜角度，助力技術(shù)人員迅速調(diào)整至理想水平線上線下，實(shí)現(xiàn)刻蝕氣體均勻分布保供，顯著提高刻蝕均勻性和精度。

對(duì)于鍍膜設(shè)備知識和技能，真空腔室與蒸發(fā)源等部件的水平狀態(tài)決定了鍍膜質(zhì)量技術創新。SELN-001B輕松應(yīng)對(duì)真空腔室安裝調(diào)平，大幅縮短安裝時(shí)間協同控製，同時(shí)保障腔室水平度不斷創新，使鍍膜均勻性更上一層樓。

2. 機(jī)床導(dǎo)軌精度檢測(cè)的強(qiáng)大助力

機(jī)床導(dǎo)軌是機(jī)床精度體驗區、機(jī)床剛性及機(jī)床耐久性的重要指標(biāo)之一去突破。SELN-001B在機(jī)床裝配和維護(hù)過(guò)程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用：

機(jī)床組裝前，對(duì)組成部件進(jìn)行檢測(cè)提供了遵循，主要包括機(jī)床導(dǎo)軌的平行度、直線度、垂直度以及工作臺(tái)的平面度等利用好。 一個(gè)軸向運(yùn)動(dòng)包含七項(xiàng)精度：線性位移參與水平、垂直面的直線度、水平面的直線度有望、滾動(dòng)角智能設備、俯仰角、偏擺角和對(duì)其他軸的垂直度服務效率。SELN-001B能夠精準(zhǔn)測(cè)量這些參數(shù)不要畏懼，為總裝工作提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)依據(jù)，幫助工程師進(jìn)行誤差修正蓬勃發展，對(duì)導(dǎo)軌進(jìn)行反復(fù)測(cè)量特點、鏟刮、研磨或其他機(jī)加工落實落細。

二意見征詢、產(chǎn)品創(chuàng)新設(shè)計(jì)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)

SEM坂本數(shù)字水平儀SELN-001B是根據(jù)半導(dǎo)體制造設(shè)備水平調(diào)整要求而設(shè)計(jì)的工業(yè)水準(zhǔn)儀組成部分，自1999年開(kāi)始生產(chǎn)并持續(xù)至今，在行業(yè)中以其高性能獲得了高度評(píng)價(jià)集聚。

五大核心優(yōu)勢(shì)：

1. 超高精度測(cè)量：X高效化、Y軸的角度精度高達(dá)±0.001deg（相當(dāng)于17.5μm/m），滿足最嚴(yán)苛的精密制造環(huán)境要求狀態。

2. 狹窄空間適應(yīng)能力：上下間隔狹窄部位的水平觀測(cè)也能輕松完成規劃，適應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部復(fù)雜緊湊的結(jié)構(gòu)。

3. 數(shù)字化測(cè)量判斷：通過(guò)瞬時(shí)的數(shù)字測(cè)量判斷更多的合作機會，可以統(tǒng)一作業(yè)者的標(biāo)準(zhǔn)應用前景，減少人為誤差。

4. 雙軸同時(shí)調(diào)整：通過(guò)雙軸同時(shí)調(diào)整功能可以使用，顯著縮短了調(diào)整作業(yè)工時(shí)兩個角度入手，提高工作效率。

5. 智能化操作體驗(yàn)：設(shè)置合格角度范圍廣泛認同，即使是初學(xué)者進入當下，水平調(diào)整作業(yè)也很輕松簡(jiǎn)單。

主要技術(shù)規(guī)格：

三首次、實(shí)際應(yīng)用案例與成效

在某半導(dǎo)體制造企業(yè)，引進(jìn)新刻蝕機(jī)時(shí)效高化，SELN-001B大顯身手生產效率。快速校準(zhǔn)反應(yīng)腔室水平部署安排，使產(chǎn)品良品率從85%飆升至92%競爭激烈。調(diào)整晶圓承載臺(tái)水平后，刻蝕不均勻問(wèn)題得到有效解決效果，生產(chǎn)成本大幅降低學習。

另一家半導(dǎo)體工廠在鍍膜設(shè)備維護(hù)與升級(jí)中，借助SELN-001B改善，將真空腔室安裝時(shí)間從兩天縮短至一天，鍍膜均勻性顯著改善。蒸發(fā)源升級(jí)改造后發揮重要作用，利用該設(shè)備精確調(diào)整水平角度自行開發，鍍膜均勻性偏差從±10%降至±5%以內(nèi)。

專注先進(jìn)制程芯片制造的企業(yè)資源優勢，依靠SELN-001B定期檢測(cè)光刻機(jī)工作臺(tái)與光路系統(tǒng)應用擴展，確保光刻圖案套刻精度達(dá)到納米級(jí)過程中，為生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片提供堅(jiān)實(shí)保障振奮起來。

四建立和完善、選擇SEM坂本數(shù)字水平儀SELN-001B的理由

SEM坂本數(shù)字水平儀SELN-001B集精度、便捷性與可靠性于一身增多，是精密制造領(lǐng)域不可少的測(cè)量工具：

高精度保證：采用MEMS技術(shù)的超高性能傳感器啟用，確保測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠，為精密制造提供數(shù)據(jù)保障估算。

操作簡(jiǎn)便：可以一邊看著顯示器屏幕一邊調(diào)整水平儀活動上，就像看著氣泡水平儀一樣直觀，大幅降低操作門(mén)檻深入各系統。

高效節(jié)蚀笮?。和ㄟ^(guò)雙軸同時(shí)調(diào)整功能，減少了調(diào)整工作所需的工時(shí)進一步推進，提高了設(shè)備安裝和維護(hù)效率不可缺少，降低生產(chǎn)成本。

廣泛應(yīng)用：不僅適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備明確相關要求，也廣泛應(yīng)用于機(jī)床和汽車相關(guān)行業(yè)服務為一體，具有廣泛的行業(yè)適應(yīng)性。

技術(shù)傳承：坂本電機(jī)擁有多年的精密設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)特點，超精密加工技術(shù)是其技術(shù)的基礎(chǔ)相互配合，保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。

SEM坂本數(shù)字水平儀SELN-001B以精準(zhǔn)的測(cè)量品質、創(chuàng)新的設(shè)計(jì)和實(shí)際的應(yīng)用效果積極回應，成為半導(dǎo)體設(shè)備制造和機(jī)床精度檢測(cè)企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率體製、降低成本的選擇要落實好。