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日本pureron微少流量超小型陶瓷氣體過濾器SPC系列 SPC系列是超小型（Φ21×84mm）智慧與合力、輕量（90g）設計長效機製。z適合于安裝在空間狹小的氣瓶柜等裝置的場合我有所應。

日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列 在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過濾性能的基礎上必然趨勢，實現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同越來越重要的位置，處理能力達到了原來的約兩倍問題分析。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列 在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點解決方案。因此原料氣體的高純度化自不必言說不負眾望，管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求交流研討，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器推動並實現，從而實現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。

日本ace活塞探針型高精度BIOS流量計 DryCal ML系列是活塞探針型高精度流量計順滑地配合，是各種流量計的校準參考設備的理想選擇更加完善。不僅可以通過NIST進行追溯，而且還可以在日本獲得認證上高質量。

日本ace差壓式大流量控制器DPFC500系列 可以?測量小尺寸和大流量精準調控。在湍流中測量壓差，流路直徑小建設應用，流路長度短優化程度。 對于傳統(tǒng)的熱力類型，湍流是層流的應用的因素之一，因此無法在大流量下實現(xiàn)小型化基礎。 EX）500SLM：流路直徑1/2“流路直徑5”