對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)

產(chǎn)品型號： F60

所屬分類：測厚儀

產(chǎn)品時間：2025-08-06

簡要描述：日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60
F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高duan機型集聚，具有缺口檢測建設、自動基線功能和互鎖機制在此基礎上。
只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊極致用戶體驗、基線和膜厚映射提供有力支撐。

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詳細(xì)說明：

日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高duan機型，具有缺口檢測建議、自動基線功能和互鎖機制品率。
只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊不斷發展、基線和膜厚映射積極影響。

主要特點

F50高duan機型自動化方案，帶缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制
自動測量對準(zhǔn)越來越重要、基線和薄膜厚度映射

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體	抗蝕劑線上線下、氧化膜、氮化膜近年來、非晶/多晶硅等

日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

產(chǎn)品陣容

模型	F60-t	F60-t-UV	F60-t-近紅外	F60-t-EXR
測量波長范圍	380 – 1050nm	190 – 1100nm	950 – 1700nm	380 – 1700nm
膜厚測量范圍	20nm – 70μm	5nm – 40μm	100nm – 250μm	20nm – 250μm
準(zhǔn)確性	± 0.2% 薄膜厚度		± 0.4% 薄膜厚度	± 0.2% 薄膜厚度
準(zhǔn)確性	2納米	1納米	3納米	2納米

測量示例

可以測量硅晶片上的氧化膜講道理、抗蝕劑等。只需設(shè)置樣本技術先進，對齊更多的合作機會、參考等將*自動完成。

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對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)

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